JHQ-410系列激光劃片機
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產品描述
參數
關鍵特點
技術參數
概述
JHQ-410系列激光劃片機，配置進口激光器，加工效率高，質量穩定， 設備簡單易操作；提供傳統矩形GPP晶圓的全切割/半切割劃片方式， 可升級提供六邊形劃切（三角形切割方式）。
全系列產品分為四款設備：
JHQ-41 0. JHQ-410Z兩款設備支持劃切產品為正面溝槽去除玻璃后的 GPP產品或晶圓背面制作標記圖形的產品。正面對準正面劃切，不支持 底部對準功能。
JHQ-41 0D和JHQ-41 0DZ兩款設備擁有獨特的雙光路系統，為單面光 刻晶圓提供了背面劃切方案與背面打標方案。正面對準正面/背面劃切， 支持底部對準功能。
性能指標
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劃切參數 |
劃切對象 |
4寸至6寸GPP晶圓和硅晶圓 |
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劃切方式 |
等距矩形切割，支持三角形切割（手動對準） |
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激光參數 |
光纖激光器，最大功率20W |
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劃切速度 |
W250mm/s |
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切割精度 |
±0.003mm |
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切割線寬 |
0.035-0.055mm |
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切割深度 |
<0.12mm |
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工作臺參數 |
工作范圍 |
220mm*200mm |
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工作臺分辨率 |
0.0005mm |
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旋轉電機行程 |
360° 185° |
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旋轉電機定位精度 |
30” |
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Z向定位精度 |
0.01mm |
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Z向激光調焦行程 |
20mm |
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其他 |
自動對位范圍 |
35mil-305mil |
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自動對位精度 |
0.01mm |
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外形尺寸 (WxDxH) mm |
JHQ-410/JHQ-410D |
760x1165x1650 |
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JHQ-41 0Z/JHQ-410DZ |
940x1165x1650 |
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設備重重kg |
JHQ-410/JHQ-410D |
750 |
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JHQ-41 0Z/JHQ-410DZ |
800 |
產品特色
●底部對準
●背面打標
●自動上下料
●自動對位
關鍵詞:
切割
對準
背面
設備
正面
jhq-41
產品
精度
自動
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