概述
JHQ-410系列激光劃片機,配置進口激光器,加工效率高,質量穩定, 設備簡單易操作;提供傳統矩形GPP晶圓的全切割/半切割劃片方式, 可升級提供六邊形劃切(三角形切割方式)。
全系列產品分為四款設備:
JHQ-41 0. JHQ-410Z兩款設備支持劃切產品為正面溝槽去除玻璃后的 GPP產品或晶圓背面制作標記圖形的產品。正面對準正面劃切,不支持 底部對準功能。
JHQ-41 0D和JHQ-41 0DZ兩款設備擁有獨特的雙光路系統,為單面光 刻晶圓提供了背面劃切方案與背面打標方案。正面對準正面/背面劃切, 支持底部對準功能。
性能指標
劃切參數 |
劃切對象 |
4寸至6寸GPP晶圓和硅晶圓 |
劃切方式 |
等距矩形切割,支持三角形切割(手動對準) |
|
激光參數 |
光纖激光器,最大功率20W |
|
劃切速度 |
W250mm/s |
|
切割精度 |
±0.003mm |
|
切割線寬 |
0.035-0.055mm |
|
切割深度 |
<0.12mm |
|
工作臺參數 |
工作范圍 |
220mm*200mm |
工作臺分辨率 |
0.0005mm |
|
旋轉電機行程 |
360° 185° |
|
旋轉電機定位精度 |
30” |
|
Z向定位精度 |
0.01mm |
|
Z向激光調焦行程 |
20mm |
|
其他 |
自動對位范圍 |
35mil-305mil |
自動對位精度 |
0.01mm |
|
外形尺寸 (WxDxH) mm |
JHQ-410/JHQ-410D |
760x1165x1650 |
JHQ-41 0Z/JHQ-410DZ |
940x1165x1650 |
|
設備重重kg |
JHQ-410/JHQ-410D |
750 |
JHQ-41 0Z/JHQ-410DZ |
800 |
產品特色
●底部對準
●背面打標
●自動上下料
●自動對位
推薦設備
如您對產品感興趣,歡迎給我們留言

關注手機官方網站
更多精彩等著你!
北京中電科電子裝備有限公司
地址:北京市經濟技術開發區泰河三街1號樓
電話:010-57989288
李經理:18514236776
郵箱:lichangcheng@bee-semi.com
lichch507@126.com